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万级实验室无尘室等级标准

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万级无尘室等级标准

无尘车间依据美国联邦**颁布的标准[Federal Standard (FS) 209E， 1992]，可将无尘室分为六级。 　　

分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级。 　　

如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5μm，例如，1级、10级、100级无尘室尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5μm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。

例如：10级在0.2μm(尘粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75颗/立方英)，1级在0.1μm(尘粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35颗/立方英)而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。 　　为保持无尘室的洁净度，进出的人员有一定的穿着规定；10000与100000级，必须穿着长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩；1000级(含)以上，需穿着特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住，并带上手套和面罩. 无尘室清洁度的定义：所谓的无尘室是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路技术的快速成长，也增加了对制造环境(无尘室)洁静度的需求，在工业上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。 　　由于奈米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断的增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。

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净化工程之实验室装修

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净化工程之实验室装修：

1、本布置紧凑、合理，满足了实验室操作和空气洁净度等级要求

2、洁净实验室入口处设置风淋室，能有效清除人体所带灰尘，减少洁净室的灰尘量，同时风淋室也起到了气闸的作用，北京实验室洁净，防止不洁净空气由门进入洁净区。

3、风量回风次数采用风量调节阀对不同要求洁净级别的区域进行控制，以及压强梯度的调节，保证气流同“清洁”区域流向“污染”区域，洁净室不同级别之间压差为≥5pa，洁净室与室外压差为≥10pa。

4、洁净实验室设紫处灯杀菌装置。

5、洁净实验室传递窗为全不锈钢材质，机械联锁控制，内带灭菌装置。

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