净化工程要控制温湿度具体措施有哪些
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洁净室的温湿度主要是根据客户的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,先应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜**过25度。
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湿度过高产生的问题更多。相对湿度**过55%时,冷却水管壁上会结露,实验室洁净工程公司哪家好,如果发生在精密装置或电路中,实验室洁净工程哪里有,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。净化工程要控制温湿度具体有什么措施? 然而对于大部分洁净空间,实验室洁净工程,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)**外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则: 1.洁净度级别高的空间的压力要**相邻的洁净度级别低的空间的压力。 2.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。 3.洁净空间的压力要**非洁净空间的压力。
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